Καινοτομία, Έρευνα & Τεχνολογία, τ. 47 - page 20

i
19
K · È Ó Ô Ù Ô Ì › · , Œ Ú Â ˘ Ó · Î · È ∆  ¯ Ó Ô Ï Ô Á › ·
Ӥ˜ Ù¯ÓÔÏÔÁ›Â˜
¶ÂÚÈÁÚ·Ê‹
°ÂÚÌ·ÓÈ΋ ÂÙ·ÈÚ›· ÚÔÛʤÚÂÈ ÌÈ· ηÈÓÔÙfiÌÔ Ù¯ÓÔÏÔÁ›·
‚·ÛÈṲ̂ÓË ÛÙËÓ Ù¯ÓÈ΋ Ù˘ ÂÈÎ¿Ï˘„˘ Ì ·ÏÌÈÎfi ϤÈ˙ÂÚ
(Pulsed Laser Deposition), ÁÈ· ÙËÓ ÂÈÊ·ÓÂȷ΋ ηÙÂÚÁ·Û›·
ÌÂÙ·ÏÏÈÎÒÓ ÚÔ˚fiÓÙˆÓ Î·È Û˘Û΢ÒÓ, Ì ÂÊ·ÚÌÔÁ‹ Û ·˘ÙÔ-
Ì·ÙÈÛÌÔ‡˜, È·ÙÚÈ΋ Ù¯ÓÔÏÔÁ›·, ¯ËÌÈ΋ ‚ÈÔÌ˯·Ó›·, ‚ÈÔÌ˯·-
Ó›· ·ÂÚÔÛÙÚÔ‚›ÏˆÓ, ·ÂÚÔÛηÊÒÓ, Î.Ï. ∏ Ù¯ÓÔÏÔÁ›· ÂÊ·Ú-
Ìfi˙ÂÙ·È Û Ï›˜ ‹ ÛÙÈÏ‚ˆÌ¤Ó˜ ÂÈÊ¿ÓÂȘ, Û ̛· ÌÂÁ¿ÏË
ÔÈÎÈÏ›· ˘ÏÈÎÒÓ, Î·È ·Ú¤¯ÂÈ ˘„ËÏ‹˜ ÔÈfiÙËÙ·˜ ÂÈÊ·ÓÂȷΤ˜
ȉÈfiÙËÙ˜, ·Ó¿ÏÔÁ· Ì ÙËÓ ÂÊ·ÚÌÔÁ‹.
∏ Ù¯ÓÈ΋ ÙˆÓ Ï¤È˙ÂÚ ‰ÂÓ ¯ÚËÛÈÌÔÔÈÂ›Ù·È ÌfiÓÔ ÁÈ· Û˘ÁÎÔÏ-
Ï‹ÛÂȘ, ‰È·ÙÚ‹ÛÂȘ Î·È ÙÔ̤˜, ·ÏÏ¿ Î·È ÁÈ· ÙË ‚ÂÏÙ›ˆÛË ÂÈÊ·-
ÓÂÈÒÓ Ì¤Ûˆ ·Ô‰fiÌËÛ˘, ·ÔÎfiÏÏËÛ˘ Î·È ÂÈÎ¿Ï˘„˘.
¶ÚfiÎÂÈÙ·È ÁÈ· Ӥ˜ ÂÈÊ·ÓÂȷΤ˜ ηÙÂÚÁ·Û›Â˜ Ô˘ ÛÙԯ‡-
Ô˘Ó ÛÙË ‚ÂÏÙ›ˆÛË Ù˘ ÂÈÊ¿ÓÂÈ·˜ ÌÂÙ·ÏÏÈÎÒÓ ÚÔ˚fiÓÙˆÓ Î·È
¤¯Ô˘Ó ‹‰Ë ‚ÚÂÈ ÂÊ·ÚÌÔÁ‹ Û ȷÙÚÈΤ˜ Û˘Û΢¤˜.
∆· ÎÂÚ·ÌÈο ˘ÏÈο ¯ÚËÛÈÌÔÔÈÔ‡ÓÙ·È Â˘Ú¤ˆ˜ ˆ˜ ÌÔÓˆÙÈο
˘ÏÈο Î·È ˆ˜ ÚÔÛٷ٢ÙÈΤ˜ ÂÈηχ„ÂȘ Û ̤ٷÏÏ· ‹ Á˘·Ï›.
™ÙËÓ È·ÙÚÈ΋, ¤Ó· ‚ÈÔÎÂÚ·ÌÈÎfi Ô˘ ÔÓÔÌ¿˙ÂÙ·È ˘‰ÚÔ͢··Ù›-
Ù˘, Ì›· ¤ÓˆÛË Ô˘ ÂÚȤ¯ÂÈ ·Û‚¤ÛÙÈÔ Î·È ÊˆÛÊÔÚÈο, ¯ÚË-
ÛÈÌÔÔÈÂ›Ù·È ˆ˜ ˘ÏÈÎfi ÂÈÎ¿Ï˘„˘ ÁÈ· ÙË ‚ÂÏÙ›ˆÛË Ù˘ ÂÈÊ¿-
ÓÂÈ·˜ È·ÙÚÈÎÒÓ ÂÌÊ˘ÙÂ˘Ì¿ÙˆÓ Ì ÛÎÔfi ÙËÓ Î·Ï‡ÙÂÚË Úfi-
ÛÊ˘ÛË ÙÔ˘ ÂÌÊ˘Ù‡̷ÙÔ˜ ÛÙ· ÔÛÙ¿.
°È· ÚÔ˚fiÓÙ· ÌÈÎÚÔ‡ ÌÂÁ¤ıÔ˘˜ ¯ÚËÛÈÌÔÔÈÂ›Ù·È ¤Ó· Û‡ÛÙËÌ·
ϤÈ˙ÂÚ ¯·ÌËÏ‹˜ ÂÓ¤ÚÁÂÈ·˜, fiˆ˜ ÙÔ Ï¤È˙ÂÚ Excimer ‹ ‰Èfi‰Ô˘,
ηıÒ˜ Â›Û˘ Î·È ÙÔ ÏÂÁfiÌÂÓÔ femto-ϤÈ˙ÂÚ. ∏ fiÏË ‰ÈÂÚÁ·-
Û›· Ú·ÁÌ·ÙÔÔÈÂ›Ù·È Û ¤Ó· ı¿Ï·ÌÔ ÎÂÓÔ‡ ÁÂÌ¿ÙÔ Ì ÙÔ
·‰Ú·Ó¤˜ ·¤ÚÈÔ ·ÚÁfiÓ. ∆Ô ÚÔ˜ ÂÂÍÂÚÁ·Û›· ÙÂÌ¿¯ÈÔ ÂÚÈ-
ÛÙÚ¤ÊÂÙ·È Ì¤Û· ÛÙÔ ı¿Ï·ÌÔ, Î·È Ë ÚÔ˜ ÂÈÎ¿Ï˘„Ë ÂÈÊ¿-
ÓÂÈ¿ ÙÔ˘ ıÂÚÌ·›ÓÂÙ·È, ηıÒ˜ ÙÔ Ï¤È˙ÂÚ ·Ô‰ÔÌ› Î·È ÂÓ·Ô-
ı¤ÙÂÈ ˘ÏÈÎfi ·fi ÙÔ ÎÂÚ·ÌÈÎfi ˘fiÛÙڈ̷ ÛÙËÓ ÂÈÊ¿ÓÂÈ·.
ÃÚËÛÈÌÔÔÈÒÓÙ·˜ ·˘Ù¤˜ ÙȘ Ù¯ÓÈΤ˜ ϤÈ˙ÂÚ, ÌÔÚÔ‡Ó Ó· ÂÈ-
Î·Ï˘ÊıÔ‡Ó ÏÂÙ¿ Î·È Â˘·›ÛıËÙ· fiÚÁ·Ó· Î·È Û˘Û΢¤˜, ¯ˆÚ›˜
Ó· ¯ÚÂÈ¿˙ÂÙ·È Ó· ˘ÂÚıÂÚÌ·ÓıÔ‡Ó, ÂÈÙ˘Á¯¿ÓÔÓÙ·˜ Ì ·˘ÙfiÓ
ÙÔÓ ÙÚfiÔ ÙË ‰ËÌÈÔ˘ÚÁ›· Ôχ ÏÂÙÒÓ ÂÈηχ„ÂˆÓ ¿¯Ô˘˜
1-3 Ìm Î·È Ì ·ÓÙÔ¯¤˜ Û˘ÁÎfiÏÏËÛ˘ ÌÂÁ·Ï‡ÙÂÚ˜ ·fi 58
MPA. ø˜ ÛÙfi¯ÔÈ ÌÔÚÔ‡Ó Ó· ¯ÚËÛÈÌÔÔÈËıÔ‡Ó ÔÏÏ¿ ηÈ
‰È·ÊÔÚÂÙÈο ˘ÏÈο.
™ËÌ·ÓÙÈÎfi ÛÙÔÈ¯Â›Ô ÛÙË ‰ÈÂÚÁ·Û›· Ì ϤÈ˙ÂÚ Â›Ó·È Ë ÂÚÈ-
ÛÙÚÔÊ‹ ÙÔ˘ ÛÙfi¯Ô˘. ∞˘Ùfi ÚÔÛ‰›‰ÂÈ ÌÂÁ·Ï‡ÙÂÚË ÂÏ¢ıÂÚ›·
ÂÈÏÔÁÒÓ, fiÛÔ ·ÊÔÚ¿ ÙË ÁˆÌÂÙÚ›· ÙÔ˘ ˘fi ÂÂÍÂÚÁ·Û›·
ÙÂÌ·¯›Ô˘. ∏ ÂÓ·fiıÂÛË Ì ·ÏÌÈÎfi ϤÈ˙ÂÚ ÌÔÚ› Ó· Ú·Á-
Ì·ÙÔÔÈËı› Î·È ÂÎÙfi˜ ı·Ï¿ÌÔ˘, Û ·ÓÔȯÙfi ¯ÒÚÔ, fiÔ˘
ÌfiÓÔ ˘„ËÏ‹˜ ÂÓ¤ÚÁÂÈ·˜ ϤÈ˙ÂÚ, fiˆ˜ ÙÔ CO2- Î·È ÙÔ
Nd:YAG- ϤÈ˙ÂÚ, ÌÔÚÔ‡Ó Ó· ¯ÚËÛÈÌÔÔÈËıÔ‡Ó.
∫·ÈÓÔÙfiÌ· ¯·Ú·ÎÙËÚÈÛÙÈο
∞fi Ù· ·ÔÙÂϤÛÌ·Ù· ÙˆÓ ‰ÔÎÈÌÒÓ Ê·›ÓÂÙ·È fiÙÈ ÔÈ ÂÚÈÛÛfi-
ÙÂÚ˜ Ê˘ÛÈÎÔ¯ËÌÈΤ˜ ȉÈfiÙËÙ˜ ÙˆÓ ÂÈηχ„ÂˆÓ ÌÔÚÔ‡Ó Ó·
Ú˘ıÌÈÛıÔ‡Ó, ÌÂÙ·‚¿ÏÏÔÓÙ·˜ ÙËÓ ›ÂÛË ÛÙÔ ı¿Ï·ÌÔ Î·È ÙË
ıÂÚÌÔÎÚ·Û›· ÙÔ˘ ˘fi ÂÂÍÂÚÁ·Û›· ·ÓÙÈÎÂÈ̤ÓÔ˘. ™Â È·ÙÚÈο
ÂÌÊ˘Ù‡̷ٷ, ÔÈ Ê˘ÛÈÎÔ¯ËÌÈΤ˜ ȉÈfiÙËÙ˜ ÌÔÚÔ‡Ó Ó· Ú˘ıÌÈ-
ÛıÔ‡Ó, ÂϤÁ¯ÔÓÙ·˜ ÙËÓ ÎÚ˘ÛÙ·ÏÏÔÔ›ËÛË, ÙËÓ ·Ó·ÏÔÁ›·
·Û‚ÂÛÙ›Ô˘-ʈÛÊfiÚÔ˘ Î·È ÙËÓ ÂÚÈÂÎÙÈÎfiÙËÙ· ·ÓıÚ·ÎÈÎÒÓ.
™ÙËÓ ÂÓ·fiıÂÛË Ì ·ÏÌÈÎfi ϤÈ˙ÂÚ, ÙÔ ÈÔ ÛËÌ·ÓÙÈÎfi Â›Ó·È Ë
ÚfiÛÊ˘ÛË Ù˘ ÂÈÎ¿Ï˘„˘ Û ¯·ÌËϤ˜ ıÂÚÌÔÎڷۛ˜. ∏
ÌÂÙ·ÊÔÚ¿ Ù˘ ÔχÏÔ΢ ÛÙÔȯÂÈÔÌÂÙÚ›·˜ ÌÔÚ› Ó· ÂÈ-
Ù¢¯ı› ÌÂٷ͇ ÂÈÎ¿Ï˘„˘ Î·È ÛÙfi¯Ô˘. ™¯Â‰fiÓ Î¿ı ˘ÏÈÎfi
ÌÔÚ› Ó· ÂÈÎ·Ï˘Êı›.
∂›Û˘, ÌÔÚ› Ó· ÂÈÙ¢¯ı› ηχÙÂÚË ÌÔÚÊÔÏÔÁ›· Ù˘ ÂÈ-
Ê¿ÓÂÈ·˜ Ì ÌÂÁ¿ÏË ˘ÎÓfiÙËÙ·, ηıÒ˜ Î·È ·ÎÚÈ‚‹˜ ¤ÏÂÁ¯Ô˜ Ù˘
ÔÌÔÈÔÁ¤ÓÂÈ·˜ Î·È ÙÔ˘ ¿¯Ô˘˜ ÙˆÓ ÛÙڈ̿وÓ. ∆Ô ˘fiÛÙڈ̷
Î·È ÙÔ ˘fi ÂÂÍÂÚÁ·Û›· ·ÓÙÈΛÌÂÓÔ ‰ÂÓ ¯ÚÂÈ¿˙ÂÙ·È Ó· ¤¯Ô˘Ó
˘Ô‚ÏËı› Û ·ÌÌÔ‚ÔÏ‹. ∏ ‰ÈÂÚÁ·Û›· ‰È·ÙËÚ› Ù· ¯·Ú·ÎÙËÚÈ-
ÛÙÈο Ù˘ ÂÈÊ¿ÓÂÈ·˜ ÙÔ˘ ˘ÔÛÙÚÒÌ·ÙÔ˜. √È ·Ú·ÁfiÌÂÓ˜
ÂÈηχ„ÂȘ Â›Ó·È ÔÌÔÁÂÓ›˜ Î·È ·ÚÔ˘ÛÈ¿˙Ô˘Ó ÌÂÁ¿ÏË Û˘ÓÔ¯‹
¯ˆÚ›˜ Ó· Â›Ó·È Â‡ıÚ˘Ù˜ fiˆ˜ ·˘Ù¤˜ Ô˘ ·Ú¿ÁÔÓÙ·È Ì ÙËÓ
̤ıÔ‰Ô „ÂηÛÌÔ‡ Ì Ï¿ÛÌ·. ∏ Ù¯ÓÔÏÔÁ›· Ù˘ ·˘ÙÔÌ·ÙÔ-
ÔÈË̤Ó˘ ÂÈÎ¿Ï˘„˘ Ì ϤÈ˙ÂÚ ·ÚÔ˘ÛÈ¿˙ÂÈ ÌÂÁ¿Ï˜ ‰˘Ó·-
ÙfiÙËÙ˜ ÛÙÔ Ì¤ÏÏÔÓ ÛÙÔÓ ÙÔ̤· ÙˆÓ ÂÈηχ„ˆÓ, Ì Èı·Ó¤˜
ÂÊ·ÚÌÔÁ¤˜ ÛÙË ÌÈÎÚÔ- Î·È ÛÙË Ó·ÓÔ-Ù¯ÓÔÏÔÁ›·.
∫‡ÚÈ· ÏÂÔÓÂÎÙ‹Ì·Ù·
ñ ∂Í·ÈÚÂÙÈ΋ ÚfiÛÊ˘ÛË Ù˘ ÂÈÎ¿Ï˘„˘
ñ ¢ÂÓ ¯ÚÂÈ¿˙ÂÙ·È ÚÔÂÙÔÈÌ·Û›· Ù˘ ÂÈÊ¿ÓÂÈ·˜ (ÌfiÓÔ Ô Û˘Ó‹-
ı˘ ηı·ÚÈÛÌfi˜)
ñ ¢ÂÓ ¯ÚÂÈ¿˙ÂÙ·È ·ÌÌÔ‚ÔÏ‹
ñ ∏ Ù¯ÓÔÏÔÁ›· ÌÔÚ› Ó· ÂÊ·ÚÌÔÛı› Û ÛÙÈÏ‚ˆÌ¤Ó˜ ÂÈ-
Ê¿ÓÂȘ Î·È Û ‰È·ÊÔÚÂÙÈο ˘ÏÈο. ¢ÂÓ ıÚÈÌÌ·Ù›˙ÂÙ·È Ë ÂÈ-
Î¿Ï˘„Ë
ñ ªÂ›ˆÛË ÙÔ˘ ÎfiÛÙÔ˘˜ ÂÈÛ΢‹˜ Û fiϘ ÙȘ ‚ÈÔÌ˯·ÓÈΤ˜
ÂÊ·ÚÌÔÁ¤˜ (.¯. ·ÂÚÔÛÙÚfi‚ÈÏÔÈ)
ñ §ÂÙ¤˜ ÂÈηχ„ÂȘ
ñ ™ÙÔÓ ÙÔ̤· Ù˘ È·ÙÚÈ΋˜ Ë Ù¯ÓÔÏÔÁ›· ÂÈÎÂÓÙÚÒÓÂÙ·È ÛÙ·
ÏÂÁfiÌÂÓ· ‚ÈÔ-ÂÌÊ˘Ù‡̷ٷ ÌÂÁ¿Ï˘ ‰È¿ÚÎÂÈ·˜
∆Ú¤¯ÔÓ ÛÙ¿‰ÈÔ ·Ó¿Ù˘Í˘
∏ Ù¯ÓÔÏÔÁ›· Â›Ó·È ‰È·ı¤ÛÈÌË ÁÈ· Â›‰ÂÈÍË. Œ¯ÂÈ ÔÏÔÎÏËÚˆı›
ÙÔ ÛÙ¿‰ÈÔ ÙˆÓ ‰ÔÎÈÌÒÓ.
¢ÈηÈÒÌ·Ù· ÓÂ˘Ì·ÙÈ΋˜ Î·È ‚ÈÔÌ˯·ÓÈ΋˜
ȉÈÔÎÙËÛ›·˜
Œ¯ÂÈ ¯ÔÚËÁËı› ‰›ψ̷ ¢ÚÂÛÈÙ¯ӛ·˜.
∂›‰Ô˜ Û˘ÓÂÚÁ·Û›·˜
∆¯ÓÈ΋ Û˘ÓÂÚÁ·Û›·, Û˘Ìʈӛ· ÁÈ· ÎÔÈÓ¤˜ ÂÂÓ‰‡ÛÂȘ, ÂÌÔ-
ÚÈ΋ Û˘Ìʈӛ·, Û˘Ìʈӛ· ¿‰ÂÈ·˜ ¯Ú‹Û˘.
∏ Ù¯ÓÔÏÔÁ›· ·¢ı‡ÓÂÙ·È Û ‚ÈÔÌ˯·Ó›Â˜ ηٷÛ΢‹˜ È·ÙÚÈ-
ÎÒÓ Ì˯·ÓËÌ¿ÙˆÓ, ÂÚ¢ÓËÙÈο ΤÓÙÚ·, ÂÙ·ÈÚ›˜ Ô˘ ·Û¯Ô-
ÏÔ‡ÓÙ·È Ì ÂÈηχ„ÂȘ ˘ÏÈÎÒÓ, ÙÂÏÈÎÔ‡˜ ¯Ú‹ÛÙ˜ Î·È ‰È·ÓÔ-
Ì›˜, ÓÔÛÔÎÔÌ›·, Î.Ï.
∂ÈÎ¿Ï˘„Ë Ì ·ÏÌÈÎfi ϤÈ˙ÂÚ (PLD)
ÁÈ· ηÙÂÚÁ·Û›· ÌÂÙ·ÏÏÈÎÒÓ ÂÈÊ·ÓÂÈÒÓ
ÃÒÚ· ¶ÚÔ¤Ï¢Û˘: °ÂÚÌ·Ó›·
∫ˆ‰ÈÎfi˜: 04 DE SDTA 0BDQ
∂∫∂¶À ∞∂
∂ÏÏËÓÈÎfi ∫¤ÓÙÚÔ ∞Ó·‰È·ÓÔÌ‹˜ ∫·ÈÓÔÙÔÌ›·˜
¡ÈÎfiÏ·Ô˜ ¶. ∫·Ó·ÙÛÔ‡Ï˘
TËÏ.: 22620 71811-15, Fax: 22620 71461
E-mail:nkanatsoulis@cereco.gr